干式螺桿真空泵的性能結構與應用

目前各種真空泵的發展愈來愈受到真空應用場合的影響，一般傳統的真空泵系統已無法滿足清潔無油、耐腐蝕、耐可凝性蒸汽以及能在惡劣的工況下運行的需要，因此近幾年來干式真空泵發展很快，真空獲得產品出現了更新換代的局面。螺桿真空泵是20世紀90年代初出現的一種理想的泵種，由于它具有抽速范圍寬、結構簡單緊湊、泵腔內無摩擦元件、能耗低、無廢液排放以及運行成本低等一系列優點，因而已在微電子、半導體、光伏產業、化工制藥、空間模擬等領域得到廣泛應用。

一、干式螺桿真空泵的工作原理及其特點

螺桿真空泵的工作原理很簡單，二個平行的精密加工的螺桿，旋轉方向相反，螺桿型線是由阿基米德螺旋線、圓外次擺線和圓弧曲線構成。從電機端看，主動軸做順時針旋轉時，一對同步斜齒輪確定螺桿作相對旋轉，于是螺桿就將吸入的氣體從進氣口壓縮到排氣口。在螺桿與螺桿之間、螺桿與泵腔之間均有一定的間隙，以避免任何金屬與金屬之間的接觸。

早期的螺桿是等螺距的，為了降低能耗、降低泵腔內的溫度，最近又新開發了變螺距的螺桿泵。其中一種螺桿是由二段螺距大小不等的螺桿拼作而成，另外一種就是螺距連續變化的螺桿泵，螺桿是由一個整體材料加工制作而成，各種不同的螺桿見圖1所示。