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    新聞資訊

    干式螺桿真空泵的性能結構與應用

    發布時間:2019-03-29

    目前各種真空泵的發展愈來愈受到真空應用場合的影響,一般傳統的真空泵系統已無法滿足清潔無油、耐腐蝕、耐可凝性蒸汽以及能在惡劣的工況下運行的需要,因此近幾年來干式真空泵發展很快,真空獲得產品出現了更新換代的局面。螺桿真空泵是20世紀90年代初出現的一種理想的泵種,由于它具有抽速范圍寬、結構簡單緊湊、泵腔內無摩擦元件、能耗低、無廢液排放以及運行成本低等一系列優點,因而已在微電子、半導體、光伏產業、化工制藥、空間模擬等領域得到廣泛應用。

    一、干式螺桿真空泵的工作原理及其特點

    螺桿真空泵的工作原理很簡單,二個平行的精密加工的螺桿,旋轉方向相反,螺桿型線是由阿基米德螺旋線、圓外次擺線和圓弧曲線構成。從電機端看,主動軸做順時針旋轉時,一對同步斜齒輪確定螺桿作相對旋轉,于是螺桿就將吸入的氣體從進氣口壓縮到排氣口。在螺桿與螺桿之間、螺桿與泵腔之間均有一定的間隙,以避免任何金屬與金屬之間的接觸。

    早期的螺桿是等螺距的,為了降低能耗、降低泵腔內的溫度,最近又新開發了變螺距的螺桿泵。其中一種螺桿是由二段螺距大小不等的螺桿拼作而成,另外一種就是螺距連續變化的螺桿泵,螺桿是由一個整體材料加工制作而成,各種不同的螺桿見圖1所示。

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